鳍式双极结型晶体管及制造方法

摘要

本发明提供了一种鳍式双极结型晶体管及制造方法。根据一示例性实施方式，鳍式双极结型晶体管（BJT）包括宽集电极，其位于半导体衬底中。鳍式基极被置于宽集电极上方。此外，鳍式发射极和外延发射极被置于鳍式基极上方。鳍式BJT的窄基极-发射极结通过鳍式基极和鳍式发射极形成，以及外延发射极为鳍式BJT提供增强的电流传导性和减小的电阻。外延发射极可外延形成在鳍式发射极上，且可包括多晶硅。此外，鳍式基极和鳍式发射极各自可包括单晶硅。

主权项

一种鳍式双极结型晶体管，包括：宽集电极，其位于半导体衬底中；鳍式基极，其被置于所述宽集电极上方；鳍式发射极和外延发射极，其被置于所述鳍式基极上方；其中，所述鳍式双极结型晶体管的窄基极‑发射极结通过所述鳍式基极和所述鳍式发射极形成，且其中，所述外延发射极为所述鳍式双极结型晶体管提供增强的电流传导性。