一种直驱式运动解耦的高精度伺服平台

摘要

本发明具体公开了一种直驱式运动解耦的高精度伺服平台，包括基座、下层平台、第一导轨、上层平台、第二导轨、所述的第一导轨固定于基座上，下层平台沿第一导轨滑动，所述的第二导轨固定在下层平台上，上层平台沿第一导轨滑动，还包括第一音圈电机、滑块、滑轨和第二音圈电机，所述的滑轨设于上层平台的一端，且滑轨上设有自由滑动的滑块，滑块与第二音圈电机的动子连接；所述的第一音圈电机的动子与下层平台的一端固定连接；所述的两个音圈电机的定子均固定在固定板上，所述的下层平台和第二音圈电机上分别设有位移传感器。

主权项

一种直驱式运动解耦的高精度伺服平台，包括基座、下层平台、第一导轨、上层平台和第二导轨，所述的第一导轨固定于基座上，下层平台沿第一导轨滑动，所述的第二导轨固定在下层平台上，上层平台沿第一导轨滑动，其特征在于：还包括第一音圈电机、滑块、滑轨和第二音圈电机，所述的滑轨设于上层平台的一端，且滑轨上设有自由滑动的滑块，滑块与第二音圈电机的动子连接；所述的第一音圈电机的动子与下层平台的一端固定连接；所述的两个音圈电机的定子均固定在固定板上，所述的下层平台和第二音圈电机上分别设有位移传感器。