发明名称 用于制造CIGS太阳能电池的组合方法
摘要 本公开涉及形成可被组合地改变和评估的不同类型的Cu2ZnSnS4(CZTS)太阳能电池和铜铟镓二硒化物(CIGS)太阳能电池的方法。这些方法都包括使用组合处理工具形成位置隔离的区域以及使用这些位置隔离的区域来形成太阳能电池区域。因此,多个太阳能电池可在单个衬底上快速形成用于在组合方法中使用。所述方法的单独过程中的任一个可组合地改变以测试变化的过程条件或材料。
申请公布号 CN103026477A 申请公布日期 2013.04.03
申请号 CN201180021286.6 申请日期 2011.05.03
申请人 英特莫里库尔公司 发明人 J·李;U·阿瓦柴特;G·张;T·强;C·亨特
分类号 H01L21/66(2006.01)I 主分类号 H01L21/66(2006.01)I
代理机构 北京市铸成律师事务所 11313 代理人 孟锐
主权项 一种在单个衬底上组合地形成多个太阳能电池的方法,其包括:以位置隔离的方式将一个或多个后接触层沉积在衬底上;以位置隔离的方式将一个或多个吸收层沉积在所述一个或多个后接触层上;以位置隔离的方式将一个或多个缓冲层沉积在所述一个或多个吸收层上;以位置隔离的方式将一个或多个前接触层沉积在所述一个或多个缓冲层上;以及其中所述一个或多个后接触层、一个或多个吸收层、一个或多个缓冲层和一个或多个前接触层一起限定一个或多个可测试的太阳能电池的一个或多个位置隔离的处理区域。
地址 美国,加利福尼亚州