| 发明名称 | 刻蚀抽风装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种使用效果好的刻蚀抽风装置。它包括设于槽体内的滚轮，所述滚轮下方设有抽风管，所述抽风管上设有吸风孔。本实用新型适用于太阳能电池片湿法刻蚀工序中的抽风。 | ||
| 申请公布号 | CN202845409U | 申请公布日期 | 2013.04.03 |
| 申请号 | CN201220393354.3 | 申请日期 | 2012.08.08 |
| 申请人 | 浙江丰球光伏科技股份有限公司 | 发明人 | 何智锋;柴晓燕 |
| 分类号 | B08B15/04(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 主分类号 | B08B15/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种刻蚀抽风装置，包括设于槽体内的滚轮，其特征在于所述滚轮下方设有抽风管，所述抽风管上设有吸风孔。 | ||
| 地址 | 311800 浙江省诸暨市环城西路190号 | ||