发明名称 |
一种显影喷嘴 |
摘要 |
一种显影喷嘴,包括相对设置的条形底座和上壳、以及若干喷液管,所述底座和上壳围成一个腔体,所述上壳设置给所述腔体供液的接嘴,所述底座设置连通所述腔体的若干阶梯状的通孔,所述若干喷液管分别安装在所述若干阶梯状的通孔内,喷液管包括管体部和管体部一端的管座部,管体部和管座部分别置于阶梯状通孔的小径孔部和大径孔部,且管座部和大径孔部之间设置密封环和套筒,所述底座上设置压板挤压所述套筒使所述密封环变形。本显影喷嘴能够实现大深径比的喷液管道,而且加工成本低,管内不会产生毛刺,显影液喷涂效果好。 |
申请公布号 |
CN103019048A |
申请公布日期 |
2013.04.03 |
申请号 |
CN201210554493.4 |
申请日期 |
2012.12.20 |
申请人 |
清华大学深圳研究生院 |
发明人 |
刘学平;王汉;向东;牟鹏;段广洪 |
分类号 |
G03F7/30(2006.01)I;B05B1/14(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/30(2006.01)I |
代理机构 |
深圳市汇力通专利商标代理有限公司 44257 |
代理人 |
李保明;张慧芳 |
主权项 |
一种显影喷嘴,其特征在于:包括相对设置的条形底座(3)和上壳(1)、以及若干喷液管(7),所述底座和上壳围成一个腔体(8),所述上壳设置给所述腔体供液的接嘴(11),所述底座设置连通所述腔体的若干阶梯状的通孔(31),所述若干喷液管分别安装在所述若干阶梯状的通孔内,喷液管包括管体部(71)和管体部一端的管座部(72),管体部和管座部分别置于阶梯状通孔的小径孔部和大径孔部,且管座部和大径孔部之间设置密封环(6)和套筒(5),所述底座上设置压板(2)挤压所述套筒使所述密封环变形。 |
地址 |
518055 广东省深圳市南山区西丽大学城清华校区 |