一种用于激光、红外双波段高反射膜的膜系结构及其制备方法

摘要

本发明涉及一种用于激光、红外双波段高反射膜的膜系结构及其制备方法。本发明膜系结构从内到外由12层膜组成，采用金属与介质膜料SiO、Al、YbF3和ZnS四种膜料组合的膜系结构。本发明的膜系综合了金属反射膜反射带宽，介质反射膜反射率高的特点，膜系对7μm～11μm波段反射率大于95%，对1.064μm反射率大于99%，镀制此类膜系的光学器件可用于激光、红外共光路光学系统的仪器，具有对两波段光高反射率的特点，同时具有较高的激光损伤阈值，对提高光学仪器性能、减小仪器的重量及体积具有重要意义。

主权项

一种用于激光、红外双波段高反射膜的膜系结构，其特征在于，该膜系从里到外由12层膜组成，采用四种膜料，为周期性对称膜系结构，其厚度为第一层SiO膜，光学厚度60nm；第二层铝膜，光学厚度200nm；第三层YbF3膜，光学厚度293nm；第四层ZnS膜，光学厚度293nm；自第五层膜起，重复镀制YbF3膜和ZnS膜;3～12层膜的所有奇数层膜料与膜层的光学厚度均相同，所有偶数层膜料与膜层的光学厚度均相同。