发明名称 | 半导体器件及其制造方法 | ||
摘要 | 本发明涉及半导体器件及其制造方法。根据本发明的半导体器件包括:嵌于绝缘材料中的第一相变材料岛;以及与所述第一相变材料岛横向地接触的第一电极。根据本发明的半导体器件的制造方法包括:提供衬底,所述衬底上形成有第一绝缘层;在所述第一绝缘层上形成电极层;对所述电极层进行图案化;形成第二绝缘层,以至少覆盖图案化的电极层和所述第一绝缘层;形成穿过所述第二绝缘层和所述电极层的开口;以及在所述开口中形成相变材料岛,其中图案化的电极层与所述相变材料岛横向地接触,从而至少定义与所述相变材料岛横向地接触的第一电极。该半导体器件还包括与所述第一相变材料岛接触的第二电极。 | ||
申请公布号 | CN103022347A | 申请公布日期 | 2013.04.03 |
申请号 | CN201110295406.3 | 申请日期 | 2011.09.27 |
申请人 | 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 | 发明人 | 徐佳;吴关平;张超;刘燕 |
分类号 | H01L45/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L45/00(2006.01)I |
代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 刘倜 |
主权项 | 一种半导体器件,其特征在于,所述半导体器件包括:嵌于绝缘材料中的第一相变材料岛;以及与所述第一相变材料岛横向地接触的第一电极。 | ||
地址 | 100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道18号 |