一种电压检测用光学传感头及其制作方法

摘要

本发明提供一种电压检测用光学传感头及其制作方法。该方法的核心思想是采用微纳制造技术将光学传感头中所需的偏振器、分束器、波片、反射镜等光学器件直接集成制作在被测量敏感光学材料上，制造成一个一体化的光学传感头整体，直接或者间接对电压产生感应的单体光学传感头。该技术方法制作的光学传感头优点在于结构紧凑及功能结构一体化的设计，整个光学的传感过程在器件内部完成，避免了采用传统的空间光学集成器件工艺所存在的一些性能稳定性隐患，具有良好的温度稳定性以及工作波长的灵活设计性，从整体上保证了系统的稳定性与精度。

主权项

1.一种电压检测用光学传感头，其特征在于：其功能部件包括偏振器(1)、四分之一波片(2)、BGO晶体(3)、金属反射膜(4)、偏振器(5)；入射光通过偏振器(1)转变成线偏振光，经过轴向与偏振器(1)成45°的四分之一波片(2)后转化成圆偏振光进入电光材料BGO晶体(3)，圆偏振光在电光材料BGO晶体(3)特定的传播方向上传播，其e光与o光偏振光的折射率在晶体中受到电压的调制，其传播方向由金属反射膜(4)控制，最后经另一个偏振器(5)发生干涉然后出射。