化学气相沉积装置及其喷头

摘要

本发明提供了一种化学气相沉积装置及其喷头，所述喷头包括：主体，所述主体的一侧具有进气口，另一侧具有出气口；底板，所述底板与主体活动连接，并密封所述出气口，所述底板包括至少两部分，所述底板的各部分之间密封活动连接，所述底板的各部分上具有通孔，气体从主体的进气口进入后，从所述通孔排出。本发明提高了化学气相沉积的膜层均匀性。

主权项

一种化学气相沉积装置的喷头，其特征在于，所述喷头包括：主体，所述主体的一侧具有进气口，另一侧具有出气口；底板，所述底板与主体活动连接，并密封所述出气口，所述底板包括至少两部分，所述底板的各部分之间密封活动连接，所述底板的各部分上具有通孔，气体从主体的进气口进入后，从所述通孔排出；其中所述底板为圆形，并被分为四部分，每部分为四分之一圆形，所述密封活动连接的实现方式为：在主体内设置两个经过圆心的、互相垂直的挡板，所述挡板连接在主体的侧壁上，使得底板的各部分以活塞的形式嵌在主体内。