发明名称 一种声光式外差干涉仪的光路装置
摘要 本实用新型公开了一种声光式外差干涉仪的光路装置,包括:光源、分光镜、平面镜、一对声光调制器、偏振分光镜、一对四分之一波片、一对角锥棱镜、一对偏振片和一对光接收器。该装置利用声光调制器对入射光的位相和频率进行调制,利用其一级衍射光作为出射光,获得频率稳定性好且频差较高的双频激光,He-Ne激光器所发出的激光经分光镜分光及声光调制器后,分别经过不同的光路,所设计干涉光路两束光为非共光路,但不存在光学死程的现象。本实用新型稳定性好、光学结构简单、容易调整;可以应用于高速测量。
申请公布号 CN202853565U 申请公布日期 2013.04.03
申请号 CN201220310628.8 申请日期 2012.06.29
申请人 上海理工大学 发明人 句爱松;彭博方;杨召雷;董洪波;胡凯;侯文玫
分类号 G01B9/02(2006.01)I 主分类号 G01B9/02(2006.01)I
代理机构 上海德昭知识产权代理有限公司 31204 代理人 郁旦蓉
主权项 一种声光式外差干涉仪的光路装置,其特征在于,包括: 光源,提供一束激光; 分光镜(2),与所述光源处于同水平线上,接受所述光源发出的光,分成两束光,一束光沿着原光路透过分光镜(2),另一束光向下方射出; 平面镜(14),设置于所述分光镜(2)下方,将经过分光镜(2)下方的光以水平方向反射出去; 声光调制器f1(3)和声光调制器f2(13),分别接受分光镜(2)分成的两束光,使两束光发生声光相互作用后产生相应不同的频移,其中,一束光沿着原光路透过分光镜(2),另一束光折射经过平面镜(14)反射后,两束光分别平行入射到声光调制器f1(3)、声光调制器f2(13),设经过声光调制器f1(3)、声光调制器f2(13)的两束出射光分别为光W1和光W2; 偏振分光镜(4),接受所述声光调制器f1(3)、声光调制器f2(13)出射的光W1和光W2,具有两个偏振分光膜,分为上偏振分光膜和下偏振分光膜,使W1光分为两束正交的线偏振光,且在同一块棱镜中完成两束光W1和光W2汇合分光; 第一四分之一波片(5)和第二四分之一波片(7),使偏振方向旋转90度,使得原来透射的光被反射,原来反射的光被透射,所述第一四分之一波片(5)设置于所述偏振分光镜(4)的上方,所述第二四分之一波片(7)设置于所述偏振分光镜(4)旁侧; 第一角锥棱镜(6)和第二角锥棱镜(8),使光线沿平行于原光路返回,所述第一角锥棱镜(6)设置于所述第一四分之一波片(5)的上方,所述第二角锥棱镜(8)设置于所述第二四分之一波片(7)的旁侧; 第一偏振片(10)和第二偏振片(12),使两种频率的光在同方向上干涉,所述第一偏振片(10)设置于所述偏振分光镜(4)的旁 侧,所述第二偏振片(12)设置于所述偏振分光镜(4)的下方;以及 第一光接收器(9)和第二光接收器(11),使接收到的光强信号转化为电信号,所述第一光接收器(9)设置于所述第一偏振片(10)的旁侧、所述第二光接收器(11)设置于所述第二偏振片(12)的下方。
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