MEMS器件的牺牲层、MEMS器件及其制作方法

摘要

不同于现有技术单独采用有机材料层作为MEMS器件的牺牲层的方案，本发明采用该有机材料层被图形化后，在其表面覆盖一层分解温度高于该有机材料层的覆盖层，以将后续淀积形成的结构材料层与有机材料层隔绝开来，起到防止高温淀积过程中该有机材料层分解逸出而造成机台腔体污染的作用。此外，该覆盖层的设置，也为有机材料层提供了更大材质选择范围。基于上述牺牲层，本发明还提供了包含该牺牲层的MEMS器件及该MEMS器件的制作方法。

主权项

一种MEMS器件的牺牲层，其特征在于，包括：图形化的有机材料层及包覆在所述图形化的有机材料层上的覆盖层，所述覆盖层的分解温度高于所述有机材料层的分解温度。