化学气相沉积设备中用于精确控制反应物流量的气路装置

摘要

一种化学气相沉积设备中用于精确控制反应物流量的气路装置，包括：反应气体入口、管路、流量控制器、反应腔，反应气体以流量分为大流量的载气、小流量载气，其特征在于反应气体入口经管路与流量控制器连接，各流量控制器的出口经管路接入反应腔，接入反应腔的管路由数条反应气体管路直接接入反应腔，或者由数种反应气体汇合成一条管路接入反应腔。本发明的优点是通过对不同气体所需流量不同采用不同的管路注入反应腔，实现设备对反应气体的精确控制，降低管路的压损，降低设备的制造成本。

主权项

一种化学气相沉积设备中用于精确控制反应物流量的气路装置，包括：多个反应气体入口、从气体入口至反应腔的大流量气体管路和小流量气体管路、流量控制器、反应腔，其特征在于所述反应气体入口经气体管路与流量控制器连接，接入反应腔的气体管路由数条反应气体管路直接接入反应腔，或者由数条反应气体管路汇合成一条气体管路接入反应腔。