丝杠检测装置及采用该丝杠检测装置的检测方法

摘要

本发明涉及一种丝杠检测装置，用以检测丝杠的误差值，该丝杠检测装置包括检测螺母、光学测量镜、双频激光干涉仪，所述双频激光干涉仪面向丝杠的一外端部设置，所述检测螺母套设于丝杠的外周上，当该丝杠作周向旋转运动时，该检测螺母沿丝杠的轴向作直线运动，所述光学测量镜固定安装在检测螺母上，随检测螺母一起移动该丝杠检测装置还包括光学参考镜及角镜，所述光学参考镜固定安装于丝杠的外端部上，随丝杠一起作周向旋转运动，所述角镜靠近双频激光干涉仪设置，用以将其发出的激光束反射至光学测量镜。本发明的丝杠检测装置操作简易、准确度高。本发明还包括一种采用上述丝杠检测装置的检测方法，该检测方法得到的丝杠误差测量结果可靠性高。

主权项

一种丝杠检测装置，用以检测丝杠的误差值，该丝杠检测装置包括：浮动端支座、编码器、二V形轴承、检测螺母、光学测量镜、双频激光干涉仪及固定端安装座；所述丝杠承载于二V形轴承上，并夹置于浮动端支座与固定端安装座之间；所述检测螺母套设于丝杠的外周上，当该丝杠作周向旋转运动时，所述检测螺母沿丝杠的轴向作直线运动；所述光学测量镜固定安装在检测螺母上，随检测螺母一起移动；所述双频激光干涉仪面向所述丝杠的一外端部设置；其特征在于：该丝杠检测装置还包括：光学参考镜及角镜；所述光学参考镜固定安装于丝杠的外端部上，随丝杠一起作周向旋转运动；所述角镜靠近双频激光干涉仪设置，用以将该双频激光干涉仪发出的激光束反射至光学测量镜。