微透镜阵列及其制作方法

摘要

本发明提供了微透镜阵列及其制作方法。该方法包括在衬底上形成第一透镜材料结构。第一透镜材料结构包括多个升高部分。所述升高部分通过凹部隔开。而且，所述多个升高部分具有至少3微米的平均高度。此外，用于制作微透镜阵列的方法包括在第一透镜材料结构和凹部上沉积介电材料，以形成第二透镜材料结构。第二透镜材料结构具有至少1微米的平均厚度。而且，第一和第二透镜材料结构一起形成该微透镜阵列。

主权项

一种用于制作微透镜阵列的方法，包括：在衬底上形成第一透镜材料结构，其中，所述第一透镜材料结构包括通过凹部隔开的多个升高部分，其中，所述多个升高部分具有至少3微米的平均高度；以及在所述第一透镜材料结构和所述凹部上沉积最小厚度为至少1微米的介电材料，以形成第二透镜材料结构，其中，所述第一和第二透镜材料结构一起形成所述微透镜阵列。