一种自测量压电泵

摘要

本发明涉及一种自测量压电泵，属于微流体传输与控制技术领域。泵盖和阀盖分别通过螺钉安装在泵体的两侧；在所述泵盖和泵体之间通过密封圈压接有压电振子，在所述阀盖和泵体之间粘接有悬臂梁型进口阀和出口阀；所述压电驱动器、进口阀和出口阀均由压电薄膜和基板粘接而成；所述压电驱动器、泵体、出口阀及进口阀共同构成泵腔；所述进口阀、出口阀及压电驱动器分别通过导线组一、导线组二及导线组三与电控单元相连。特色与优势：利用具有传感功能的单向阀直接测量泵的输出压力和流量、无需额外的传感器，故结构简单、测量精度的准确度及可靠度较高，且适于液体、气体以及气液混合物等不同介质的泵送过程中的实时监测。

主权项

一种自测量压电泵，其特征在于：泵盖和阀盖分别通过螺钉安装在泵体的两侧；在所述泵盖和泵体之间通过密封圈压接有压电振子，在所述阀盖和泵体之间粘接有悬臂梁型进口阀和出口阀；所述压电驱动器、进口阀和出口阀均由压电薄膜和基板粘接而成；所述压电驱动器、泵体、出口阀及进口阀共同构成泵腔；所述进口阀、出口阀及压电驱动器分别通过导线组一、导线组二及导线组三与电控单元相连。