具有纳米结构的云母薄片的制备方法

摘要

本发明涉及利用原子力显微镜微机械加工制备具有纳米结构的云母薄片的方法。本发明采用机械剥离法制备单层或少数层的云母薄片，并可用此云母薄片为基底，利用原子力显微镜微机械加工的方法在所得云母薄片上制备纳米结构。所述纳米结构的获得可是将云母薄片置于固体基底上，使原子力显微镜的工作处在接触模式下，控制原子力显微镜的针尖与云母薄片接触的作用力，以控制在云母薄片上得到的纳米结构。本发明的方法中涉及的利用机械剥离法制备云母薄片的操作方法简单，方便易行，缺陷少。本发明方法中涉及的原子力显微镜微机械加工法制备得到的纳米结构的厚度可控，精度达到原子层级，纳米结构的形状、位置可控，并可制备得到图案化的纳米结构。

主权项

一种利用原子力显微镜微机械加工制备具有纳米结构的云母薄片的方法，其特征是：将云母薄片置于固体基底上，使原子力显微镜的工作处在接触模式下，控制原子力显微镜的针尖与云母薄片接触的作用力，以控制在云母薄片上得到的纳米结构。