反应源配送装置

摘要

一种反应源配送装置，包括：化学原料钢瓶、流量控制器、压力计、压力控制器，其特征在于所述压力控制器的入口端通入载气，插入化学原料钢瓶底部的入口管道与压力控制器的出口端连接，压力计经管道与化学原料钢瓶输出端连接，压力计与压力控制器的控制端经电路连接，流量控制器的进口端经管道插入化学原料钢瓶内的上部，化学原料钢瓶的输出管道与多个流量控制器的进口端相连接，流量控制器的出口端经管道接入反应室。本发明的优点是本装置不仅能够精确控制进入反应室的每一路源物质的浓度，而且能更好的节省源物质的消耗，减少相关零部件的数量，从而达到降低成本的目的。

主权项

一种反应源配送装置，包括：化学原料钢瓶、流量控制器、压力计、压力控制器，反应所需的源物质以液态或固态形式存储存在化学原料钢瓶内，其特征在于所述压力控制器的入口端通入载气，插入化学原料钢瓶底部的入口管道与压力控制器的出口端连接，压力计经管道与化学原料钢瓶输出端连接以测量化学原料钢瓶出口处的压力，压力计与压力控制器的控制端经电路连接，流量控制器的进口端经管道插入化学原料钢瓶内的上部，化学原料钢瓶的输出管道与多个流量控制器的进口端相连接，流量控制器的出口端经管道接入反应室。