一种利用原子层沉积技术制备褶皱负滤光片的方法

摘要

本发明公开了一种利用原子层沉积技术制备褶皱负滤光片的方法，包括：设计一种褶皱负滤光片，得到折射率随着厚度的分布曲线，将设计的褶皱负滤光片划分成若干个折射率层；采用对称膜系等效层的方法，将每个折射率层的折射率等效为一个恒值折射率；采用第一折射率材料以及第二折射率材料，将每个折射率层分成T个循环周期数，再确定每个循环周期数内第一折射率材料的厚度d1和第二折射率材料的厚度d2；采用原子层沉积技术依次沉积折射率层，得到褶皱负滤光片。本发明利用ALD原子量级的沉积精度以及优异的重复性，克服了当前褶皱负滤光片制备过程中极薄层监控困难、设备复杂、花费昂贵等问题，精确控制厚度，制备褶皱负滤光片。

主权项

一种利用原子层沉积技术制备褶皱负滤光片的方法，其特征在于，包括以下步骤：1）设计一种褶皱负滤光片，得到折射率随着厚度的分布曲线，并求出该曲线上折射率的平均值，然后以该平均值为基线，将设计的褶皱负滤光片划分成若干个折射率层；2）采用对称膜系等效层的方法，将若干个折射率层中每个折射率层的折射率等效为一个恒值折射率；3）采用折射率小于所有折射率层中最小恒值折射率的第一折射率材料以及折射率大于所有折射率层中最大恒值折射率的第二折射率材料，将每个折射率层分成T个循环周期数，采用式①和式②确定每个循环周期数内第一折射率材料的厚度d1和第二折射率材料的厚度d2；n=(n1×d1+n2×d2)/(d1+d2)               ①D=T(d1+d2)                              ②式①中，n为每个折射率层的恒值折射率，n1为褶皱负滤光片的中心波长处第一折射率材料的折射率，n2为褶皱负滤光片的中心波长处第二折射率材料的折射率；式②中，D为每个折射率层的厚度；4）先确定d1或d2，再利用式①和式②求出d2或d1以及相应的循环周期数T，得到每个折射率层中循环周期数T以及每个循环周期数内第一折射率材料的厚度d1和第二折射率材料的厚度d2；5）采用原子层沉积技术依次沉积折射率层，得到褶皱负滤光片。