| 发明名称 | 一种薄膜晶体管 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种薄膜晶体管器件及其制作方法。本器件包括衬底11、源漏极19、有源层17、绝缘层15以及栅极13，其中有源层为含IIIB族金属氧化物。各结构层采用真空蒸发方法和溅射方法制备。可实现工艺大为简化，性能更加优良。 | ||
| 申请公布号 | CN103022151A | 申请公布日期 | 2013.04.03 |
| 申请号 | CN201210574980.7 | 申请日期 | 2012.12.25 |
| 申请人 | 青岛盛嘉信息科技有限公司 | 发明人 | 曲志乾;于正友;魏薇 |
| 分类号 | H01L29/786(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I;H01L29/26(2006.01)I | 主分类号 | H01L29/786(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人 | 汤东凤 |
| 主权项 | 一种薄膜晶体管，包括衬底、源漏极、有源层、绝缘层以及栅极，其中有源层为含IIIB族金属氧化物。 | ||
| 地址 | 266071 山东省青岛市市南区如东路18号3号楼二单元101户 | ||