| 发明名称 | 正型感光性树脂组成物、硬化膜及其制造方法、图案、MEMS结构体制造方法、干及湿蚀刻方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种正型感光性树脂组成物、硬化膜及其制造方法、图案、MEMS结构体制造方法、干及湿蚀刻方法。所述正型感光性树脂组成物即使在对所形成的图案进行烘烤后，也能形成矩形或接近矩形的轮廓。本发明使用正型感光性丙烯酸系树脂，该正型感光性丙烯酸系树脂在主链末端上含有羧基，且含有具有3元环及/或4元环的环状醚基的重复单元，在碱性显影液中为不溶或难溶性，且通过酸的作用而变得可溶于碱性显影液中。 | ||
| 申请公布号 | CN103019034A | 申请公布日期 | 2013.04.03 |
| 申请号 | CN201210353259.5 | 申请日期 | 2012.09.20 |
| 申请人 | 富士胶片株式会社 | 发明人 | 下野胜弘;米泽裕之 |
| 分类号 | G03F7/039(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/039(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人 | 臧建明 |
| 主权项 | 一种正型感光性树脂组成物，其特征在于，含有丙烯酸系树脂，该丙烯酸系树脂在主链末端含有羧基，且含有具有3元环及/或4元环的环状醚基的重复单元，在碱性显影液中为不溶或难溶性，且通过酸的作用而变得可溶于碱性显影液中。 | ||
| 地址 | 日本东京港区西麻布二丁目26番30号 | ||