基于板条结构的大功率355nm紫外激光器

摘要

本发明公开了一种基于板条结构的大功率355nm紫外激光器，其特征在于，包括：半导体激光泵浦模块、透镜组、板条薄片状的激光晶体、激光谐振腔、调制器件、谐波非线性晶体组以及使紫外激光与其他光线分离的三棱镜；前述激光谐振腔由腔镜组成，激光在激光器中形成“M”字形光路。本发明的有益之处在于：通过设计合理的“M”字形光路以及适当选择柱面镜的曲率半径，可减轻甚至消除一阶热聚焦、应力双折射和退偏效应，从而利用简单的板条激光结构获得更好的光束质量和更高的输出功率；在不改变激光器内部结构的情况下，在激光晶体破坏值范围内，可通过提高半导体激光泵浦模块的泵浦功率，进一步增加腔内基频激光的功率密度。

主权项

基于板条结构的大功率355nm紫外激光器，其特征在于，包括：激光晶体（4），分居上述激光晶体（4）两侧的半导体激光泵浦模块（1、7），设置于上述激光晶体（4）与半导体激光泵浦模块（1、7）之间的透镜组，将上述半导体激光泵浦模块（1、7）发射出的泵浦光转换成高光束质量的基频激光的激光谐振腔，对上述基频激光进行调制的调制器件（9），对上述基频激光进行频率变换的谐波非线性晶体组以及使紫外激光与其他光线相分离而得到紫外激光输出的三棱镜（19）；上述激光晶体（4）为板条形状的薄片，泵浦光的通光方向在薄片之内，激光晶体（4）的“C”轴竖直向上放置或者旋转90°水平放置；上述激光谐振腔由腔镜（3、5、8、10、11、12、14、15、18）组成，激光在激光器中形成“M” 字形光路；上述谐波非线性晶体组由二次谐波非线性晶体（16）和三次谐波非线性晶体（17）组成。