硅基薄膜太阳能电池制造方法及其制造装置

摘要

一种硅基薄膜太阳能电池制造方法及其制造装置，所述制造方法包括：提供基板，所述基板上包括透明电极层；提供一化学气相沉积装置，所述化学气相沉积装置包括第一处理腔；将所述基板传输至第一处理腔中，在所述透明电极层上形成P型半导体层；将包括P型半导体层的基板从所述第一处理腔中取出，对所述第一处理腔进行清洗；将包括P型半导体层的基板传输至第一处理腔中，在所述P型半导体层上形成本征半导体层；在所述本征半导体层上形成N型半导体层。所述制造装置包括：加载腔、第一处理腔、包括搬运机械手的真空传输腔和控制模块。本发明可以低成本且高效地消除形成P型半导体层时的残留物对本征半导体层的污染。

主权项

一种硅基薄膜太阳能电池制造方法，包括：提供基板，所述基板上包括透明电极层；提供一化学气相沉积装置，所述化学气相沉积装置包括第一处理腔；将所述基板传输至第一处理腔中，在所述透明电极层上形成P型半导体层；将包括P型半导体层的基板从所述第一处理腔中取出，对所述第一处理腔进行清洗；将包括P型半导体层的基板传输至第一处理腔中，在所述P型半导体层上形成本征半导体层；在所述本征半导体层上形成N型半导体层。