用于泵中的机械活塞的位置控制的系统和方法

摘要

本发明所披露的系统和方法的实施例利用无刷DC马达（BLDCM）驱动泵系统中的单级或多级泵，用于实时、平滑运动以及极其精确和可重复地对流体运动和分配量进行位置控制，其在半导体制造中非常有用。该BLDCM可以利用位置传感器，来对执行定制场定向控制方案的处理器进行实时位置反馈。本发明的实施例能够通过定制控制方案，根据潜在函数的关键程度，通过增加和减小BLDCM的操作频率来减小产生的热量，而不会损害分配泵的精确位置控制。该控制方案能够以非常低的速度运行BLDCM，同时保持恒定的速度，这就使得泵系统能够在很宽的速度范围下操作，具有很小的变化，大大地增加了分配性能和操作能力。

主权项

一种泵，其包括：分配泵，其中，所述分配泵是活塞位移泵，它包括：分配腔室；活塞；分配级隔膜，所述分配级隔膜位于所述分配腔室和所述活塞之间；无刷DC马达；以及丝杠，所述丝杠连接所述活塞和所述无刷DC马达；其中，所述无刷DC马达由计算机可读介质所包含的软件指令来控制，所述软件指令能由执行控制方案的处理器来执行，且所述处理器与所述计算机可读介质和所述泵通信连接。