发明名称 |
一种快速响应薄膜热电偶温度传感器及其制造方法 |
摘要 |
本发明公开了一种快速响应薄膜热电偶温度传感器及其制造方法,它具有一个陶瓷衬底及一个沉积在陶瓷衬底(11)的主表面上的AlN缓冲层(12),并在缓冲层表面沉积有Pt-PtRh13功能薄膜(13)及由此搭接形成的热结点(14),一个绝缘保护膜(15)至少在陶瓷衬底(11)的主表面上的热结点(14)中完整的沉积覆盖,但除了用于引线连接的引线区域(19)以外,一个Pt浆料烧结层(17)被用于功能薄膜(13)与引线(16)的连接,实现电动势信号的输出和检测,一个保护釉层(18)至少在陶瓷衬底(11)的主表面上的铂浆料层上完整覆盖,但不包括热结点(14),利用本发明方法制造的热电偶温度传感器,具有体积小、耐腐蚀、可靠性高的优点。 |
申请公布号 |
CN103017922A |
申请公布日期 |
2013.04.03 |
申请号 |
CN201110287620.4 |
申请日期 |
2011.09.26 |
申请人 |
中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
发明人 |
蓝镇立;谢贵久;肖友文;何峰;张建国 |
分类号 |
G01K7/02(2006.01)I |
主分类号 |
G01K7/02(2006.01)I |
代理机构 |
长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 |
代理人 |
马强 |
主权项 |
一种快速响应薄膜热电偶温度传感器,其特征在于,陶瓷衬底(11)的上表面沉积有AlN缓冲层(12),AlN缓冲层(12)上沉积有功能薄膜(13),功能薄膜(13)包括Pt薄膜和PtRh13薄膜,Pt薄膜和PtRh13薄膜重叠搭接处有热结点(14),功能薄膜(13)靠近热结点(14)的一端和热结点(14)上有Al2O3绝缘保护膜(15),功能薄膜(13)远离热结点(14)的一端为引线区域(19),引线区域(19)上设有引线(16),Al2O3绝缘保护膜(15)远离热结点(14)一端的表面上有由Pt浆料组成的导电胶层(17),导电胶层(17)将引线区域(19)与引线(16)连接起来,导电胶层(17)上覆盖有Al2O3釉料层(18)。 |
地址 |
410111 湖南省长沙市天心区新开铺路1025号 |