无源SAW加速度计及加速度测试方法

摘要

本发明公开了一种无源SAW加速度计及加速度测试方法，所述的加速度计由力转换装置2、SAW器件1、天线8及信号连接线9构成，SAW器件1包括换能器3、第一反射栅4a和第二反射栅4b，换能器的两个电极通过信号连接线与用于信号收发的天线相连；力转换装置2包括悬臂梁5、质量块6、固定块7，有加速度输入时，质量块产生惯性力和对固定块的惯性力矩，该力矩使得悬臂梁绕固定块挠曲变形和SAW信号在基片表面传输时间的变化，通过解算传输时间变化量即可得到输入加速度的值，信号的收发及能量的传递均通过天线完成，实现了加速度量的无源化检测。

主权项

无源SAW加速度计，包括外壳，其特征在于：还包括设置于外壳内的基片上的力转换装置和SAW器件；所述SAW器件包括换能器和用于反射从换能器发出的并沿基片表面传播信号的第二反射栅；所述换能器设置有用于输入输出信号的电极；所述力转换装置包括悬臂梁、质量块和与外壳固定连接的固定块；所述固定块与悬臂梁连接，所述悬臂梁与质量块连接；所述第二反射栅及换能器之间的区域位于悬臂梁上表面。