| 发明名称 |
SYSTEM AND PROCESS FOR CONVEYING WORKPIECES INTO A CHAMBER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP2234149(A4) |
申请公布日期 |
2013.04.03 |
| 申请号 |
EP20080867407 |
申请日期 |
2008.12.31 |
| 申请人 |
DONGGUAN ANWELL DIGITAL MACHINERY CO., LTD. |
发明人 |
FAN, CHUNWAH |
| 分类号 |
H01L21/677;C23C16/458;C23C16/509;H01L21/67;H01L21/673;H01L21/687 |
主分类号 |
H01L21/677 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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