发明名称 HEATING APPARATUS, VACUUM-HEATING METHOD AND METHOD FOR MANUFACTURING THIN FILM
摘要
申请公布号 KR20130032912(A) 申请公布日期 2013.04.02
申请号 KR20137004819 申请日期 2012.06.28
申请人 PANASONIC CORPORATION 发明人 OKAZAKI SADAYUKI;HONDA KAZUYOSHI
分类号 C23C14/26;H01M4/139 主分类号 C23C14/26
代理机构 代理人
主权项
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