加速度计

摘要

所揭露的是一种实施于SOI晶圆上新颖的电容式三轴加速度计，这种加速度计包含特别设计的间隙闭合差分感测电极。本三轴加速度计有四项优点：(一)质量块包含SOI晶片之元件层(device layer)以及处理层(handle layer)，(二)间隙闭合的差分电容感测电极的设计提高了灵敏度，(三)SOI晶圆的元件层和处理层之间的金属互连设计使得在结合板上的寄生电容减少，(四)所感测的间隙厚度系已由SOI晶圆的方格氧化层所精准定义。