条纹投影轮廓仪

摘要

一种条纹投影轮廓仪，其用以量测一待测表面的形貌。条纹投影轮廓仪包括至少一光源、至少一全像片、一影像撷取装置以及一影像处理装置。光源适于发出一光线，而全像片配置于待测表面与光源之间，以及光线的一第一传递路径上。全像片适于将光线绕射成一绕射光线，而绕射光线沿着一第二传递路径投射在待测表面上，以形成一条纹影像，其中第一传递路径与第二传递路径之间呈一夹角，而夹角小于180度，大于90度。影像撷取装置适于拍摄条纹影像，而影像处理装置适于根据条纹影像，以取得待测表面的形貌。