机电系统及显示器之方法及装置

摘要

本发明提供一种制造于一已预图案化之其中形成有凹槽之基板上的微机电系统装置。一下部电极沉积于该基板上且藉由一腔室而与一正交之上部电极相分隔。该上部电极经组态为可移动的以调变所反射之光。一半反射层及一透明材料形成于该可移动上部电极之上。