平面天线构件及使用此之电浆处理装置

摘要

本发明是提供令从微波放射孔所放射出来的电场往平面天线构件的周方向回转来使电浆密度均等化之平面天线构件。;这种平面天线构件具备有由导电性的金属板所组成之天线板88。在该天线板88上设有复数组的槽孔组100，该槽孔组100则是由相互面向不同的方向之2个长沟状的微波放射用的槽孔86所组成。沿着复数个同心圆多列地设置前述复数组的槽孔组100，并且位于最内周的列之槽孔组100为8组以内。