发明名称 用于移置以矩形结构配置的电子零件之方法和装置
摘要 本发明有关一种用于在一平坦之载具上放置以一矩形结构配置之电子零件的方法及装置,其包括有拾取若干以矩阵结构配置的零件;及将该等零件放置在该平坦载具上,其中在该等零件被拾取之后,该等零件最初会被放置在一定位平台上,而且于该等被放置在该定位平台上之产品被放置在该平坦载具上之前,会接着被再次拾取。;这系可应用于半导体之生产,该等半导体在不同处理工作站中被处理,及于这些处理工作站之间被运送。然而,该等处理工作站通常以一矩形结构运送分批之电子零件,但对于进一步地运送而言,该等电子零件被以不正确之数目、不正确之间距或不正确之方位运送。零件之数目、其等之间距或方位能于二步骤中藉由移置该等电子零件群组而被修改。
申请公布号 TWI392047 申请公布日期 2013.04.01
申请号 TW095114073 申请日期 2006.04.20
申请人 菲克公司 荷兰 发明人 威赫努斯 翰德利克斯 约翰尼斯 哈姆森
分类号 H01L21/677;H01L21/66 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人 桂齐恒 台北市中山区长安东路2段112号9楼;阎启泰 台北市中山区长安东路2段112号9楼
主权项
地址 荷兰