间接加热的阴极离子源

摘要

一种间接加热的阴极离子源包含一用以定义一电弧室的电弧室外罩、一间接加热的阴极及一用以加热该阴极的灯丝。该阴极可包含一具有一前表面、一后表面及一周围的发射部、一附至该发射部前表面的支撑杆及一延伸自该发射部周围的护板。一阴极组件可包含该阴极、一灯丝及一以一固定空间关系来安装该阴极及该灯丝并传导电能至该阴极及该灯丝的夹钳组件。该灯丝系定位于一由该发射部及该阴极护板所定义的空腔。该离子源可包含一用以禁止电子及电浆自该电弧室外接近该灯丝及该阴极的一区域中逃脱的屏障。