灭菌物质供给装置及隔离器

摘要

本发明之课题系缩短灭菌处理所需要之时间，以提升隔离器中的作业效率。;本发明之灭菌物质供给装置200系具有由雾化部210及气化部220所构成之灭菌气体产生部202。于雾化部中，藉由从超音波振动器213所发出之超音波振动而使杯体214内之过氧化氢水雾化。经雾化之过氧化氢水系于气化部中经加热器222所加热而气化。经气化之过氧化氢水系作为灭菌气体供给至隔离器的作业室。