发明名称 吸头与应用此吸头之输送机台
摘要 本申请提出一种吸头,包括一第一传动部、一第二传动部以及一吸嘴。第二传动部磁吸于第一传动部,以容许第二传动部相对于第一传动部位移。此外,吸嘴配置于第二传动部,并且经由第二传动部来被第一传动部带动。此外,本申请更提出一种输送机台,包括一承载盘、一传动装置以及前述之吸头。承载盘用以承载一被输送物,而吸头由传动装置驱动,以吸取该被输送物。此吸头以及应用此吸头的输送机台具有高输送效率,并可维持机台在输送过程中的正常运作。
申请公布号 TWI391307 申请公布日期 2013.04.01
申请号 TW099101112 申请日期 2010.01.15
申请人 日月光半导体制造股份有限公司 高雄市楠梓加工出口区经三路26号 发明人 谢荣林;陈尚智;锺宏宗
分类号 B65G47/91;B65G49/07;H01L21/677 主分类号 B65G47/91
代理机构 代理人 詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;萧锡清 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1
主权项
地址 高雄市楠梓加工出口区经三路26号