处理室及处理装置

摘要

【发明课题】;本发明提供一种不用缩小处理室内部的尺寸，可抑制外形尺寸的扩大，并且可达到减轻重量的处理室及处理装置。;【课题解决手段】;真空室10的本体10a的长向侧壁61a、61b的壁厚L1，是形成比侧壁62a、62b的壁厚L2还薄，盖体10b的上部侧壁63a、63b的壁厚是形成比上部侧壁64a、64b的壁厚还薄。在使用时，为了要增强侧壁61a、61b及上部侧壁64a、64b的强度，增强板90a~90d是形成为可从外部加装成装脱自如。