发明名称 切削装置
摘要 本发明的切削装置,是具备:心轴罩壳,该心轴罩壳实质上朝水平延伸;和旋转心轴,该旋转心轴可自由旋转地被安装于该心轴罩壳而实质上朝水平延伸,且其前端部是超过该心轴罩壳而延伸;和切削刀片,该切削刀片被安装于该心轴的上述前端部;和切削液供给手段,该切削液供给手段可对该切削刀片供给切削液,且被附设于该心轴罩壳;和昇降移动机构,该昇降移动机构可使该心轴罩壳在垂直方向实质上形成昇降移动;和移动机构,该移动机构可使该心轴罩壳在其延伸方向上移动;及分隔壁手段,该分隔壁手段为该心轴罩壳贯穿。该分隔壁手段包含:分隔壁,该分隔壁实质上呈垂直延伸;和导引框,该导引框被固定于该分隔壁的前面,而在与该分隔壁之间,限制导引空间;及密封构件,该密封构件是可在垂直方向上自由移动地收容于该导引空间。在分隔壁形成:细长地延伸于垂直方向的开口,在导引框也形成:细长地延伸于垂直方向的开口,在密封构件则形成有:形状对应于心轴罩壳的横剖面之外形的开口,心轴罩壳是贯穿分隔壁的开口、导引框的开口及密封构件的开口而延伸,当心轴罩壳形成昇降移动时,该密封构件也随着形成昇降移动。在该分隔壁至少附设有:从该开口的上缘起面向前方而朝下方倾斜延伸的上部倾斜壁部、及从该开口的下缘起面向后方而朝上方倾斜延伸的下部倾斜壁部的其中一个。
申请公布号 TWI392006 申请公布日期 2013.04.01
申请号 TW095141348 申请日期 2006.11.08
申请人 迪斯科股份有限公司 日本 发明人 福冈武臣;中间佑司
分类号 H01L21/304;H01L21/78;H01L21/301 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址 日本