被处理体之取出方法及程式记忆媒体和载置机构

摘要

提供一种被处理体之取出方法，系取出被真空吸附于载置台之被处理体，该载置台具有于复数场所开口的复数气体流路。该方法具有(a)切断上述气体流路用以真空吸附上述被处理体之真空的工程；(b)和藉由被处理体升降单元，使上述被处理体从上述载置台升降的工程；(c)和针对工程(b)，经由上述气体流路中至少一条气体流路，于上述载置台与上述被处理体之间供给气体的工程。