| 摘要 |
〔课题〕在先前的压力式流量控制装置中，于其机构上，系有无法以流量输出讯号之存在而判定节流机构下流侧阀之开动作的问题。因此，希望成为能从压力式流量控制装置之动作时的流量输出讯号的变动状态来简单的判定节流机构下流侧阀之开放。;〔用以解决课题之手段〕在压力式流量控制装置中，开放其节流机构下流侧阀，并且使输入至压力式流量控制装置的流量设定值Qe变动，并检测出该流量设定值Qe之变动中的从压力式控制装置而来的流量输出讯号Qo之变动的大小△V，在该流量输出讯号Qo之变动的大小△V为规定值以上的情况时，判断节流机构下流侧阀之开放动作系为正常，又，当前述变动之大小△V系为规定值以下的情况时，则判断在开放动作中系有异常。 |
