热处理装置、加热器及加热器之制造方法

摘要

本发明系关于一种热处理装置，该热处理装置包含：处理容器，其可多层收容多个被处理体，并对该被处理体实施特定之热处理；筒状加热器，其以覆盖上述处理容器之方式设置，且可加热上述被处理体；排热系统，其用于排出上述加热器与处理容器间之空间内之气体；冷却机构，其用于向上述空间内吹入冷却流体以冷却上述处理容器。上述加热器含有筒状之绝热材与配设于该绝热材内周之发热电阻体。上述冷却机构含有埋设于上述绝热材中之多个喷嘴。各个喷嘴，其入口与出口形成为并非直线连接之形状。