处理溶液之具感测器的阀以及使用该阀处理基板的装置与方法

摘要

所提供的是一种用于制程溶液的具感测器的阀、使用此阀的基板处理装置以及基板处理方法。此阀包括主体、入口、出口、闸门以及感测器。主体内提供一通道，提供给基板的制程溶液流经此通道。入口是连接到此通道的一端，制程溶液藉由此入口而流入主体。出口是连接到通道的另一端，制程溶液藉由此出口而排出主体之外。闸门是用来在入口与通道相连接的部位打开或关闭通道。感测器耦接到主体，以接触流经通道的制程溶液，且感测制程溶液的成分。