显像处理方法及显像处理装置

摘要

本发明的课题是促使被供给至基板的表面而盛上之显像液的盛液的下摆部活化，而得以谋求解析性的提升及显像处理效率的提升之显像处理方法及显像处理装置。;其解决手段是一边使水平保持晶圆(W)的旋转夹头(40)绕着铅直轴旋转，一边从晶圆的中心部上方由显像喷嘴(52)来供给显像液而盛上的同时，由N2喷嘴(53)来朝所被供给之显像液的盛液的下摆部供给比处理时的晶圆温度还要高温的N2气体，使显像喷嘴与N2喷嘴从晶圆的中心部往晶圆的外周缘，于径方向同时且使N2喷嘴追随显像喷嘴移动来促使显像液的盛液的下摆部活化而进行显像处理。