旋头

摘要

本发明提供一种用于支撑并旋转基板的旋头。该旋头包括主体；卡盘插销，安置于该主体上且可在支撑位置与闲置位置之间移动；以及，卡盘插销移动单元，经组态以直线地移动卡盘插销。卡盘插销在支撑位置支撑基板且在闲置位置提供基板装载/卸载空间。卡盘插销移动单元包括：可移动杆，固定至该卡盘插销上；可旋转的凸轮，包括在其外表面上的突起以便将卡盘插销自该支撑位置移动至闲置位置；以及，卡盘插销返回单元，分别向该可移动杆施加力以便将该卡盘插销自闲置位置个别地移动到支撑位置。该卡盘插销移动单元还包括接触维持构件。