发明名称 Positionsdetektor und Lichtablenkvorrichtung mit Positionsdetektor
摘要 <p>Positionsdetektor (1, 2, 61, 77, 93, 123) zum Ermitteln der Drehwinkelposition (α) eines drehbar gelagerten Objekts (3), aufweisend:–eine Lichtquelle (5) zum Erzeugen eines Lichtstrahls (17),–ein Beugungsgitter (9),–einen Spiegel (7), der derart mit dem Objekt (3) verbunden ist, dass er bei einer Drehung des Objekts mit dem Objekt (3) mitdreht, und der derart angeordnet ist, dass der Lichtstrahl (17) von ihm auf das Beugungsgitter (9) reflektiert wird und der reflektierte Lichtstrahl (18) bei einer Drehung des Spiegels (7) das Beugungsgitter (9) entsprechend der Drehung überstreicht, wobei das Licht des reflektierten Lichtstrahls unter Erzeugung von Beugungslicht (29) von dem Beugungsgitter gebeugt wird,–eine optische Interferenzvorrichtung (11, 12, 79, 95), die im Lichtweg des Beugungslichts (29) angeordnet ist und derart eingerichtet ist, dass von ihr unterschiedliche Beugungsordnungen (m =–1, m = +1) des Beugungslichts (29) unter Erzeugung eines Interferenzmusters (41,...</p>
申请公布号 DE102011050030(B4) 申请公布日期 2013.03.28
申请号 DE20111050030 申请日期 2011.05.02
申请人 SCANLAB AG 发明人 PETSCHIK, NORBERT;PONKRATOV, VLADIMIR;VALENTIN, MARTIN;MUENZER, HANS-JOACHIM
分类号 G01B11/26;G01D5/38 主分类号 G01B11/26
代理机构 代理人
主权项
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