| 摘要 |
<p>Eine verschleißfeste mehrschichtige Nitridhartbeschichtung (2) für Substrate (6). Die Hartbeschichtung umfasst eine erste Schicht (4) aus Titanaluminiumnitrid und eine zweite Schicht (8) mit mehreren Unterschichtgruppen (10a). Jede Unterschichtgruppe umfasst eine erste Unterschicht (12) aus Titansiliziumnitrid und eine zweite Unterschicht (14) aus Titanaluminiumnitrid. Die Zusammensetzung des Titanaluminiumnitrids in sowohl der ersten Schicht (4) als auch in den Unterschichtgruppen (10a) ist (TixAl1-x)N, wobei 0,4≤x≤0,6 ist. Die Zusammensetzung der Titansiliziumnitrid-Unterschichten (12) ist (TiySi1-y)N, worin 0,85≤y≤0,98 ist, und wobei das gesamte Silizium in dem Titansiliziumnitrid in fester Lösung vorliegt, so dass weder eine reine Siliziumphase noch eine reine Siliziumnitridphase vorliegt. Die in den Unterschichtgruppen vorliegende Gesamtmenge von Aluminium und Silizium wird in engen Grenzen gesteuert, so dass die Summe von x und y im Bereich von 1,38 bis 1,46 liegt.</p> |
