Flexibler Wärmetauscher

摘要

Ein Verfahren zum Aufbauen eines Wärmetauschers zum Kühlen einer oder mehrerer Halbleiterkomponenten weist den Schritt des Bereitstellens eines ersten und zweiten planaren Blatts einer angegebenen wärmeleitenden Metallfolie auf, wobei jedes der Blätter eine Außenseite und eine Innenseite aufweist. Das Verfahren weist weiterhin das Bilden eines oder mehrerer Thermokontaktknoten (TCNs) in dem ersten Blatt auf, wobei sich jeder TCN von der Außenseite des ersten Blatts nach außen erstreckt und ein planares Kontaktelement und einen oder mehrere Seitenabschnitte aufweist, wobei die Seitenabschnitte jeweils elastische Komponenten aufweisen, die es dem Kontaktelement des TCN ermöglichen, sich zu der Außenseite des ersten Blatts hinzubewegen und davon wegzubewegen, und wobei die Seitenabschnitte und das Kontaktelement eines TCN gemeinsam eine Kühlmittelkammer bilden. Entlang der Innenseite des ersten Blatts sind Kanalsegmente angeordnet, wobei jedes Kanalsegment zwischen den Kühlmittelkammern von zwei TCNs oder zwischen der Kühlmittelkammer eines TCN und wahlweise einem Eingangsanschluss oder Ausgangsanschluss verläuft. Das Verfahren weist ferner das Zusammenfügen der Innenseite des zweiten Blatts mit der Innenseite des ersten Blatts auf, um einen abgedichteten Strömungsweg zu bilden, der jedes Kanalsegment aufweist und ermöglicht, dass flüssiges Kühlmittel in die bzw. aus der Kühlmittelkammer jedes TCN fließt.