| 发明名称 |
Metal-Aluminum Alloy Films From Metal PCAI Precursors And Aluminum Precursors |
| 摘要 |
Described are methods for deposition of metal-aluminum films using metal PCAI precursors and aluminum precursors. Such metal-aluminum films can include metal aluminum carbide, metal aluminum nitride and metal aluminum carbonitride films. The aluminum precursors may be alkyl aluminum precursors or amine alanes.
|
| 申请公布号 |
US2013078455(A1) |
申请公布日期 |
2013.03.28 |
| 申请号 |
US201213617082 |
申请日期 |
2012.09.14 |
| 申请人 |
THOMPSON DAVID;ANTHIS JEFFREY W.;APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
THOMPSON DAVID;ANTHIS JEFFREY W. |
| 分类号 |
C23C16/20;B32B15/20;C22C21/00;C23C16/32;C23C16/34;C23C16/36 |
主分类号 |
C23C16/20 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
