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Peak-Positionen und integrierte Intensitäten eines Beugungsröntgenstrahls werden auf der Basis von Röntgenstrahlbeugungsmessdaten, die von einem Röntgenstrahlbeugungsmesser 5 ausgegeben werden, bestimmt, wobei die Anzahl der bestimmten Peaks des Beugungsröntgenstrahls gezählt wird und die Analyseverarbeitung gestartet wird, wenn die gezählte Anzahl von Peaks eine vorbestimmte Peak-Anzahl erreicht. Die Analyseverarbeitung wird wiederholt auf der Basis von Röntgenstrahlbeugungsmessdaten durchgeführt, die vom Start der Messung bis dahin erhalten worden sind. Insbesondere werden die Peak-Positionen und die integrierten Intensitäten des Beugungsröntgenstrahls aus den Röntgenstrahlbeugungsmessdaten bestimmt, welche vom Start der Messung bis zur betroffenen Analyseverarbeitung erhalten werden, und eine qualitative Analyse des Vergleichens der bestimmten Peak-Positionen und integrierten Intensitäten mit Standard-Peak-Kartendaten, deren Datenbasis im Vorfeld erstellt wird, und ein Suchen nach Materialien, die in einer Messprobe S enthalten sind, und eine quantitative Analyse des Bestimmens der Mengen der Materialien, die in der Messprobe S enthalten sind, werden durchgeführt.
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