| 发明名称 |
Verfahren zum Vorbereiten von Siliziumkoerpern fuer das Dotieren durch AEtzen |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE1287404(B) |
申请公布日期 |
1969.01.16 |
| 申请号 |
DE196100L9479 |
申请日期 |
1961.07.06 |
| 申请人 |
LICENTIA PATENT-VERWALTUNGS-GMBH |
发明人 |
THEIS;WERNER DR. RER. NAT. |
| 分类号 |
C23F1/00;H01L21/24;H01L21/306 |
主分类号 |
C23F1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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