Mehrlagig verschleissfest beschichtetes Element und Verfahren zum Herstellen desselben

摘要

Sowohl ein verschleißfest beschichtetes Element als auch ein Verfahren zum Herstellen desselben enthalten ein Substrat und einen Beschichtungsaufbau. Der Beschichtungsaufbau weist einen Bereich von abwechselnden Beschichtungsteilschichten auf. Eine Beschichtungsteilschicht besteht aus TixAlySi100-x-yN, wobei 40 Atomprozent ≤ x ≤ 80 Atomprozent ist; 15 Atomprozent ≤ y ≤ 55 Atomprozent ist; 4 Atomprozent ≤ 100-x-y ≤ 15 Atomprozent ist. Die andere Beschichtungsteilschicht besteht aus TipAl100-x-pN, wobei 45 Atomprozent ≤ p ≤ 100 Atomprozent ist. Das Verfahren zum Herstellen eines verschleißfest beschichteten Elements enthält die Schritte eines Bereitstellens des Substrats und eines Abscheidens des Bereichs der abwechselnden Beschichtungsteilschichten.